I Mems (Micro-Electro-Mechanical System) sono sistemi miniaturizzati che integrano componenti meccanici, elettrici ed elettronici, su uno stesso circuito. Si basano su microtecnologie in grado di offrire le stesse funzioni di elaborazione e controllo presenti su dispositivi molto più ingombranti e costosi. Per questa ragione le lori applicazioni sono in continua espansione.